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脉冲偏压电源
脉冲偏压电源

偏压电源(Bias power supply )是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。

作用

1)提高真空等离子体内带电粒子的能量,轰击清洗所镀工件表面,使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层,从而提高后续沉积膜层的结合力。

2)TIGAOBINGKONGZHIZHENKONGDENGLIZITINEIDAIDIANLIZIDENENGLIANG,TIGAOMOCENGYUGONGJIANJITIJIEHELI。

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